个人简历

• 2012年7月 中国科学院半导体研究所，微电子学与固体电子学，工学博士

• 2007年7月 四川大学物理科学与技术学院，微电子学，理学学士

研究领域

• 射频微机械（RF MEMS）开关

• 微机械结构及器件的可靠性研究

• 微纳谐振器
  

成果出版

• Y. F. Zhu, F. X. Zhang, J. L. Yang, et al.,  Stability of Mechanical Properties for Sub-Micrometer Single Crystal Silicon Cantilever under Cyclic Load, J. Microelectromech. Syst., 2011, 20(1): 178-183.

• L. J. Tang, Y. F. Zhu, J. L. Yang, et al.,  Dependence of wet etch rate on d eposition, annealing conditions and etchantsfor PECVD silicon nitride film;, Journal of Semiconductors, 2009, 30(9), 096005.

申请专利

• 朱银芳，魏伟伟，毛旭，杨晋玲，杨富华，一种快速射频微机械开关，发明专利，申请号：201210105187.2

• 杨晋玲，周威，朱银芳，杨富华，适用于激光共聚焦测量装置的光学窗口片，发明专利，专利号：ZL200920106986.5
  

• 杨晋玲，周威，周美强，朱银芳，杨富华，微机电系统机械组元可靠性评估的测试装置及方法，发明专利，专利号：ZL 200910078562

荣誉奖励

• 2011年6月：中国科学院半导体研究所；第九届五四青年交流会三等奖。

• 2010-2011学年：中国科学院研究生院三好学生荣誉称号。

• 2005-2006学年：四川大学芯源奖学金三等奖；四川大学单项一等奖学金。

• 2004-2005学年：四川大学优秀学生称号；四川大学优秀三等奖学金。

• 2003-2004学年：四川大学关心优秀学生奖学金二等奖。