个人简历

• 2009.3-至今   中国科学院半导体研究所 副研究员

• 2006.7-2009.3 北京大学信息科学技术学院 博士后

• 2002.9-2006.7 中国电子科技集团电子科学研究院 博士

• 1999.7-2002.9 云南大学材料科学与工程系 讲师  

• 1996.9-1999.7 云南大学物理系 硕士

• 1992.9-1996.7 云南大学物理系 学士

研究领域

• 半导体材料

• MEMS 谐振器件
  

• MEMS 封装

成果出版

• 
  

1. Xu Mao, Jinling Yang, An Ji, and Fuhua Yang, Two new methods to improve the lithography precision for SU-8 photoresist on glass substrate, J. Microelectromech. Syst.,2012, (Accept) (SCI).

2. Xu Mao, Jinling Yang, An Ji, and Fuhua Yang, Two new methods to improve the lithography precision for SU-8 photoresist on glass substrate, MEMS 2012, Paris, FRANCE, 29 January - 2 February 2012, 337-340 (EI).

3. Xu Mao, Yumin Wei, Zhenchuan Yang*, Guizhen Yan, Fabrication of SOI MEMS Inertial Sensorswith Dry Releasing Process, IEEE SENSORS 2009 Conference, 479-482.

中国专利

1. 毛旭，杨晋玲，杨富华，基于金锡合金键合的圆片级低温封装方法，申请号：201010601975.1。

2. 毛旭，杨晋玲，杨富华，一种提高光刻胶曝光精度的方法，申请号：201110344422.7。

3. 毛旭，方志强，杨晋玲，基于局域加热技术的圆片级低温键合系统及装置，申请号：201110343625.4。

4. 朱银芳，魏伟伟，毛旭，杨晋玲，杨富华，一种快速射频微机械开关，中国发明专利，申请号：201210105187.2。

荣誉奖励

Si基薄膜理论和实验研究；获云南省科学技术三等奖