个人简历             

2004年于中科院半导体研究所获微电子学与固体电子学专业工学博士学位

研究领域

• ICP刻蚀技术及其在半导体器件中的应用研究

• 表面等离子体波导与SOI波导集成研究

• 宽禁带半导体功率器件研究

• 蓝宝石图形衬底制备

成果出版

1、Yu, Hejun, Yu, Jinzhong, Fan, Zhongchao, Chen, Shaowu, “Realization of an ultracompact low-loss photonic crystal corner mirror ”IEEE Photonics Technology Letters,  (2007)

2、Chen, Xi, Fan, Zhong-Chao, Xu, Yun, Song, Guo-Feng, Chen, Liang-Hui “Fabrication of biomimic GaAs subwavelength grating structures for broadband and angular-independent antireflection” MICROELECTRONIC ENGINEERING,  (2011)