高级实验师
	办公室	3号楼306室
	电话	（010）8230 5405
	传真	（010）8230 5141
	电子邮件	yunxiabai@semi.ac.cn
	负责工艺	RIE、PECVD，等

 

个人简历：

1989.11 - 2004.07  光电子研发中心，主要从事过溅射工艺、后工艺解理、装管；光刻工艺。

2004.07 - 现在  集成技术中心，高级实验师，主要从事光刻、RIE、PECVD等工艺。

技术亮点：

双层胶的应用、准确的套刻精度。

荣誉奖励：

2012.02荣获物质与纳米区域中心仪器操作员一等奖。