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大尺寸碳化硅晶体生长中的热质传输及缺陷控制研究
[2024-02-20]


文章名: 大尺寸碳化硅晶体生长中的热质传输及缺陷控制研究

作者: 朱鹏
起始页码: 1 - 151
文献类型: 学位论文
出版年代: 2021




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