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基于铌酸锂/碳化硅异质衬底的单片集成声学滤波器研究 [2024-03-19] |
| 周鸿燕 博士论文 2022 上海微系统与信息技术所 基于铌酸锂碳化硅异质衬底的单片集成声学滤波器研究.pdf |
