所属各部门：
中国科学院半导体研究所ICP刻蚀设备采购项目已完成公开招标，项目中标公告已在中国政府采购网进行发布，链接地址http://www.ccgp.gov.cn/cggg/zygg/zbgg/202311/t20231123_21130838.htm
特此公示。
