所属各部门：
中国科学院半导体研究所硅精密刻蚀设备采购项目已完成公开招标，项目中标公告已在中国政府采购网进行发布，链接地址
http://www.ccgp.gov.cn/cggg/zygg/zbgg/202409/t20240924_23221347.htm
特此公示。
