所属各部门：
中国科学院半导体研究所低损耗光波导干法刻蚀系统采购项目已完成公开招标，项目中标公告已在中国政府采购网进行发布，链接地址
http://www.ccgp.gov.cn/cggg/zygg/zbgg/202409/t20240924_23221423.htm
特此公示。
