所属各部门：
中国科学院半导体研究所锑化物感应耦合等离子体（ICP）刻蚀系统采购项目已完成公开招标，项目中标公告已在中国政府采购网进行发布，链接地址 http://www.ccgp.gov.cn/cggg/zygg/zbgg/202509/t20250904_25289658.htm
特此公示。
