各位老师及研究生，大家好！
集成中心将于4月2日上午在学术会议中心举办一场电子束曝光用户交流会。本次交流会的主题是介绍与电子束曝光密切相关的几款软件以及半导体所EBL用户的工艺分享，欢迎大家报名参加！报名链接：https://jinshuju.com/f/DFv67S。
会议信息如下：
时间：2025年4月2日（周三）上午9:00-12:00
地点：学术会议中心
日程:
报告人 | 内容 | 时间 |
颜伟/陈利奇 | 开幕致辞 | 9:00-9:10 |
任明华 | BEAMER & TRACER 新版本更新 | 9:10-9:40 |
陈利奇 | LAB电子束以及激光模拟仿真 | 9:40-10:10 |
半导体所EBL用户 | 用户EBL工艺分享报告 | 10:10-10:50 |
休息时间 | ||
陈利奇 | ProSEM以及InSpec测量软件介绍 | 11:10-11:40 |
任明华 | 激光直写3D PEC灰度曝光修正 | 11:40-12:00 |
会议结束 | ||
欢迎大家积极参加！
集成中心
2025.03.18
BEAMeeting_Beijing_2025_FinalAgenda.pdf