所属各部门:
现将《半导体所购置大型半导体设备及液氮罐、氢气站管理规定》予以印发,请遵照执行。
中国科学院半导体研究所
2020年1月14日
中国科学院半导体研究所关于印发《半导体所购置大型半导体设备及液氮罐、氢气站管理规定》的通知.doc