12月12日早晨7点45分左右,超晶格室新型半导体光电材料与量子器件研究组位于2号楼1层116房间(与114房间连通)内的一个电源变压器突然着火,烟雾迅速弥漫至一层走廊并触发了位于该实验室顶棚上部的烟感报警器。中控室值班员当即紧急通知相关人员,同时该研究组多位职工也及时赶到,使用二氧化碳灭火器迅速将火情扑灭,从而避免了一场大的火灾事故,也未造成任何人员伤亡。
经查明,失火事故发生于该变压器上部安装的自动温控表中,燃烧产生火花坠落引燃底部电缆外皮使铜线完全裸露,造成变压器短路和输出断电。该变压器设备用于VEECO Gen 20分子束外延系统的三相电源隔离变压,其型号为BGS-100KVA,由国内昆山艾格森电气有限公司生产。这次失火产品(2017年4月20日出厂)性能检验单据齐全,但其变压器设备十分关键的控温器部件存在质量问题,仅使用几个月的时间就发生失火事故。事故发生时主体真空设备电源处于低功耗待机状态,事后VEECO公司派专人检查了分子束外延设备的电源线缆等,研究组将追究变压器失火事故损失、断电关联损失(包括真空源炉急速降温导致坩埚热应变损伤、设备重启中可能存在的其他部件损失等)等赔偿责任。
这次火情虽然没有造成重大损失,但也显露出实验室安全防护中的潜在问题。该研究组的主体设备虽处于调试阶段,但必须针对外延系统复杂、实验周期时间较长的特点,进一步完善安全操作规范、加强设备状态的巡检频度。同时,该超净实验室装修工程与设备调试关联度高尚未最终验收,也应联系职能部门对实验室装修进行“预验收”检查。
本次火情的发生再次为各实验室(中心)安全工作敲响了警钟。所属各部门在采购设备时应按照研究所有关规定在合格供应方名录中选取。同时,要进一步强化安全管理,通过开展安全检查彻底排除隐患,全面完善实验室实时监控装置条件的建设,尤其在实验室改造(改建)申请、过程管理、预验收、验收等各个环节加强与职能部门沟通,确保科研生产安全。
特此通告。
中国科学院半导体研究所
2017年12月14日