近年来，人工智能理论、模型、应用等发展迅速，但其行业领域应用仍存在知识整合、经验萃取、输出可靠性等难题。发展类脑人工智能，借鉴人脑神经机制优化模型架构，提升小样本学习能力与能量利用效率，开发更具生物智能特性的算法、低功耗专用器件以及软硬一体智能装备具有重要理论创新价值和应用发展前景。
抛光垫是半导体制造领域CMP工艺（化学机械研磨）的核心耗材，其性能与供应稳定性对集成电路制造至关重要。中国科学院半导体研究所人工智能与高速电路实验室曹晓东研究员团队针对抛光垫生产过程中的质检难题，发挥在人工智能算法、专用器件以及智能装备领域的研发优势，研制出智能抛光垫质检装备并成功应用于上市国有企业。客户应用后反馈良好，评价其性能优异，质检准确率超过95%，将企业抛光垫产品的生产效率提高了5倍，实现了生产过程中质检数据的数字化管理，有效避免了传统质检过程中强光给工人带来的视觉伤害，产生了较好的经济效益与社会效益。
该实验室将在现有科研积累的基础上，继续充分发挥实验室在专用集成电路、人工智能以及硬件装备研发上的优势，不断创新突破，致力为行业领域应用提供软硬一体化解决方案与装备。
