王晓东,男,博士,研究员,博士生导师。
2001年毕业于中国科学院半导体研究所获博士学位,研究方向为III-V族低维异质材料的外延生长。2001年到2002年,日本国立神户大学Venture Business实验室,讲师、研究机关研究员身份,主要进行了III-V族异质结构的研究。2002年到2004年,在瑞典Chalmers工学院微技术与纳米科学系(MC2)光子学实验室做博士后研究,主要研究低维异质材料及器件工艺。2004年到现在任职于中国科学院半导体研究所集成技术工程研究中心,参与大型科研平台建设,负责多种微纳器件加工及高质量光学膜技术等;研究领域涉及半导体光电子器件,相变存储器件,太阳能电池,纳米热电器件等。
近年主要科研成果:
在低维异质材料及器件研究方面,研制出场效应管光电探测器件,发现器件的负微分电阻等现象并提出了物理模型。在太阳能电池方面,研究了III-V电池的制备工艺及其优化技术,并且进行了纳米陷光结构研究,所获成果被同行多次引用。在光学膜应用方面,成功改善多种光电器件的性能,如明显提升大功率LED的出光效率等。同时,还负责了大型科研平台的运行管理,承担了大量工艺开发项目,涉及国内外多家研究机构,大学,及公司企业等,内容包含了微电子、光电子等众多领域,积累了丰富的技术经验。完成与在研多项国家重点研发计划、自然科学基金等科研项目,在国内外核心期刊发表论文百余篇,培养博士、硕士多名。
主要研究方向:
半导体微纳器件技术,纳米热电结构与器件,新型太阳能电池
联系方式:
电话:010-82305042;E-mail:xdwang@semi.ac.cn
代表性论文:
[1] Lei Wei, Jiangtao Wei, Mingliang Zhang, Wen Liu, Fuhua Yang, and Xiaodong Wang*, Ultralow in-plane thermal conductivity of Cu2-xSe nanobelts prepared by magnetron sputtering, Applied Surface Science 64(2024)158779, https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.158779
[2] Zhichao Yang, Xiaofei Cao, Guosheng Niu, Yadong Wang, Yuan Dong, Shaokui Cao, Wen Liu, Xiaodong Wang*, Yingliang Liu*, Jizheng Wang*, Removing residual PbI2 on the perovskite surface for efficient solar cells, Chemical Engineering Journal 464 (2023)142720, https://doi.org/10.1016/j.cej.2023.142720
[3] Lei Wei, Jiangtao Wei, Xuebao Kuai, Zhiwei You, Mingliang Zhang, Wen Liu, Fuhua Yang, Xiaodong Wang*, Optimization and Fabrication of MEMS suspended structures for nanoscale thermoelectric devices, Nanotechnology17(2022)325301, https://doi.org/10.1088/1361-6528/ac667a
[4] Yidi Bao, Wen Liu, Yongqiang Zhao, Lei Wei, Xiaoling Chen, Fuhua Yang, and Xiaodong Wang*, Fabrication of black GaAs by maskless inductively coupled plasma etching in Cl2/BCl3/O2/Ar chemistry, J. Vac. Sci. Technol. B 40(2022)022205, https://doi.org/10.1116/6.0001570
[5] Jiangtao Wei, Liangliang Yang, Zhe Ma, Peishuai Song, Mingliang Zhang, Jing Ma, Fuhua Yang & Xiaodong Wang*, Review of current high-ZT thermoelectric materials, Journal of Materials Science 55:27(2020)12642, https://doi.org/10.1007/s10853-020-04949-0
[6] Jing Ma, Wen Liu, Zhe Ma, Peishuai Song, Yongqiang Zhao, Fuhua Yang, and Xiaodong Wang*, Rapidly fabricating a large area nanotip microstructure for high-sensitivity SERS applications, Nanoscale 11 (2019)20194, https://doi.org/ 10.1039/c9nr05168f