宁瑾，女，博士，研究员，博士生导师。

1995年毕业于郑州大学电子工程系，获学士学位。2000年于航天科技集团兰州物理研究所获硕士学位。2003年7月在中国科学院半导体研究所毕业获博士学位，同年进入中科院半导体研究所集成技术中心工作，一直从事新型半导体微电子器件和MEMS（微机电系统）器件的研究工作。作为项目骨干和项目负责人先后完成和承担国家自然科学基金、国家863项目和其他省部级项目。成功研制出多种新型微电子器件和MEMS器件，在国内率先开展SiC RF MEMS器件的研究工作并制备出第一个SiC 谐振器，作为科研骨干人员参与并完成了集成技术中心半导体工艺线的建立和调试工作。在国内外核心学术期刊已经发表学术论文40余篇，国内外学术会议报告多次。

目前主要从事新型MEMS（微机电系统）器件的研究工作。

联系方式： 

E-mail：ningjin@ semi.ac.cn；  电话：010-82304492 

在研/完成主要项目： 

1. 国家自然科学基金：新型级联阵列结构的AlN MEMS谐振器及关键机理研究，（2013年－2016年），项目负责人 

2. 国家高技术研究发展863计划项目：高Q值新型RF NEMS 模块－滤波器的研制，（2006年－2008年），项目负责人 

3. 国家自然科学基金项目：SiC RF MEMS 器件－高Q值谐振器的研究，（2005年－2007年），项目负责人 

代表性论著： 

1. Fabrication and characterization of capacitive micromachined ultrasonic transducers with low-temperaturewafer direct bonding, Wang, Xiaoqing; Yu, Yude; Ning, Jin,Micromachines, v 7, n 12, 2016

2. Researching the aluminum nitride etching process for application in MEMS resonators Yang, Jian; Si, Chaowei; Han,Guowei; Zhang, Meng; Ma, Liuhong; Zhao, Yongmei; Ning, Jin, Micromachines, v 6, n 2, p 281-290, 2015

3. Research on the piezoelectric properties of AlN thin films for MEMS applications, Zhang, Meng; Yang, Jian; Si,Chaowei; Han, Guowei; Zhao, Yongmei; Ning, Jin, Micromachines, v 6, n 9, p 1236-1248, 2015

4. Adaptive EKF based on HMM recognizer for attitude estimation using MEMS MARG sensors Tong, Xin; Li, Zhaofeng; Han, Guowei; Liu, Nan; Su, Yan; Ning, Jin; Yang, Fuhua, IEEE Sensors Journal, v 18, n 8, p 3299-3310, April 15, 2018

5. Design and simulation of a novel piezoelectric AlN-Si cantilever gyroscope, Yang, Jian; Si, Chaowei; Yang,Fan; Han, Guowei; Ning, Jin; Yang, Fuhua; Wang, XiaodongSource: Micromachines, v 9, n 2, February 15, 2018

6. PSPICE hybrid modeling and simulation of capacitive micro-gyroscopes, Su, Yan, ; Tong, Xin; Liu, Nan; Han, Guowei; Si, Chaowei; Ning, Jin; Li, Zhaofeng; Yang,Fuhua, Sensors (Switzerland), v 18, n 4, April 2018